卫浴大厂 TOTO 宣布斥资 600 亿日元建设半导体用途陶瓷工厂

这座新工厂将制造新一代静电吸盘和气溶胶沉积(AD)薄膜，两者均面向半导体制造中的蚀刻工艺，拥有出色的等离子体腐蚀耐受性能。▲静电吸盘▲气溶胶沉积薄膜TOTO还将在位于大分中津的两家工厂购置下一代AD组件的量产设备。这部分投资额约为110亿日元（现汇率约合4.65亿元人民币），预计2028财年投产。